产品介绍

  日前，2021年上海市工人先锋号揭晓，宝山的不少集体都榜上有名，费勉仪器科技（上海）有限公司的开发团队就是这里面之一，这支成立于2015年，成员平均岁数仅30岁的年轻团队，在短短几年时间里，已实现多项关键技术的难点突破。

  费勉仪器致力于为全球学术及研究机构、国家重点项目和高端产业提供精密仪器装置和整体解决方案。

  目前，费勉仪器科技（上海）有限公司的开发团队已在真空技术、低温技术、薄膜制备和等离子技术四大方向上都取得了可喜的成果，其中自主研发的射频聚焦等离子技术，多个指标也远超过国际同种类型的产品，在填补国内空白的同时，还实现了反向出口。

  现在研发团队累计已申请专利130余项，授权40余项。这也让团队的成员们越挫越勇，在这个大家庭同进步。

  公司研发团队负责人是80后的公司首席技术官谢斌平博士，他个人曾荣获2014年上海自然科学一等奖，2015年国家自然科学二等奖， 2018年入选上海市青年拔尖人才计划，2021被评为“宝山工匠”。在他的带领下，团队完成了多项研发任务，在多个技术上取得突破。“我们做的无论是一些科学设备也好，或者一些半导体项目，一些卡脖子的项目，因为做得这个事情较为重要，所以说让大家认为做的事情很重要，然后有难度，所以现在这年轻人就非常容易去挑战。”

  费勉仪器科技（上海）有限公司研发人员说：“我们现在做能够说是从零开始，有很多要自己先研发，有压力，但给我们的动力也很强，因为我们做出成果也可以看得到，很多实际的成果运用起来，在客户那边反馈很好，所以说压力和动力是并存的。”

  如果说基础科研仪器的研发是为明天做准备，而工业半导体“卡脖子”仪器设施的开发就为了现在。

  基于公司在科研仪器研发中形成的自有成熟技术，费勉仪器自2020年开始了工业半导体装备的研发，2020年底已向某半导体有突出贡献的公司交付了国内首套超高真空解理镀膜装置，目前，研发团队又在攻克半导体新的制造技术，以突破对国内高功率芯片用外延生长设备的封锁。

  费勉仪器科技（上海）有限公司研发团队负责人说：“我们的目标就是两到三年，做到以美国为首的国家对我们禁运的这些设备，我们大家可以做到国产替代，三到五年，我们还可以做得比他们更好。”

  今后，费勉仪器科技（上海）有限公司的开发团队将以做强民族高端仪器为己任,潜心研发，在自主创新道路上强力推进，力争在更多的瓶颈技术上实现突破。