韩国显现设备制造商Invenia已开宣布用于10.5代（2940x3370）基板的电感耦合等离子体（ICP）干蚀刻机。

  该公司表明，该蚀刻机可用于Gen 10.5 OLED和液晶显现器（LCD）生产线）供给过蚀刻机。

  除ICP刻蚀机外，另一种干法刻蚀机是增强型电容耦合等离子体（ECCP）。

  ICP运用腔室内的天线来操控腔室内的等离子体，这使得高密度等离子体的压力相对较低。

  ECCP经过放置在顶部和底部的两个电极发生等离子体。它具有简略的结构，并答应操控等离子体密度和离子能量。

  Invenia和东京电子都向客户供给了用于10.5代LCD生产线的ECCP干蚀刻机。

  一起，Invenia正在寻觅电池隔阂检测套件和化妆品包装检测设备的新产品。

  该公司上一年的销售额为1410亿韩元，经营收入为47亿韩元，别离比2019年下降了3.5％和增加16.9％。

  我国的HKC是其最大的客户，占其销售额的46％。其次是京东方的25％，CSOT的15％和LG Display的12％。

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