【48812】中微公司取得发明专利授权:“一种等离子体处理设备及调理办法”
时间: 2024-07-07 17:36:52 | 作者: 真空型等离子清洗机
产品介绍
证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现中微公司(688012)新取得一项发明专利授权,专利名为“一种等离子体处理设备及调理办法”,专利申请号为CN6.X,授权日为2024年7月5日。
专利摘要:本发明供给了一种等离子体处理设备,包含移动环以及与移动环固定衔接的调理环,调理环能够跟从移动环升降,不会阻挠传片通道,调理环能改动等离子体的反响速率,改进基片边际的刻蚀均匀性,避免污染物颗粒回流发生刻蚀不良,还包含与移动环衔接的距离环,能调整调理环与距离环的高度份额,来改动基片边际等离子体的刻蚀方向,关于不同条件的刻蚀有清晰的意图性的替换调理环来到达工艺技术要求,关于调整刻蚀参数供给了便利。
今年以来中微公司新取得专利授权79个,较去年同期增加了6.76%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研制方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。
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