【48812】芯片制作要害配备离子注入机成功完成全谱系国产化

时间: 2024-06-04 09:11:04 |   作者: 真空型等离子清洗机

产品介绍

  人民网北京3月17日电 (赵竹青)据我国电子科技集团17日音讯,该集团旗下电科配备已成功完成离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制作公司能够供给离子注入机一站式解决方案。

  离子注入机是芯片制作中的要害配备。据悉,多年来,电科配备接连打破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技能,自主研制中束流、大束流、高能、特种使用及第三代半导体等离子注入机,工艺段掩盖至28nm,累计构成中心发明专利413项,完成我国芯片制作范畴全谱系离子注入机自主立异开展,有用缓解我国芯片制作范畴断链、短链难题。

  电科配备表明,下一步,将瞄准高端,紧跟先进工艺开展,快速推动适用于更先进工艺节点离子注入机的研制及产业化。

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