中船特气:公司生产的混合气主要使用在于大规模集成电路和显示面板制作的完整过程中的光刻、退火等多个工艺
时间: 2024-11-04 13:07:50 | 作者: 真空型等离子清洗机
产品介绍
每经AI快讯,有投入资金的人在投资者互动平台提问:请问公司电子特种气体可用于光刻领域么?
中船特气(688146.SH)7月14日在投资者互动平台表示,公司生产的混合气主要使用在于大规模集成电路和显示面板制作的完整过程中的光刻、退火等多个工艺。基于自身掌握的纯化和混配技术,公司混合气产品组分纯度可达6N,目前已实现30余种电子混合气的量产供应。
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