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  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现中微公司（688012）新取得一项发明专利授权，专利名为“构成耐等离子体涂层的办法、零部件和等离子体处理设备”，专利申请号为CN4.9，授权日为2024年4月5日。

  专利摘要：一种在零部件上构成耐等离子体涂层的办法、零部件和处理设备，办法有：供给零部件；对所述零部件加热；供给涂覆资料源，所述涂覆资料源包含有机基团、氧原子和金属原子，或许涂覆资料源包含有机基团、氧原子、金属原子和氟原子；向零部件外表运送气态的涂覆资料源，所述涂覆资料源在零部件外表因受热产生化学反应构成耐等离子体涂层，所述耐等离子体涂层包含具有稳定相的面心立方结构的钇基多元金属氧化物或钇基氧氟化物。包含所述耐等离子体涂层的零部件用在等离子体刻蚀腔体中，能下降涂层被等离子体腐蚀。

  今年以来中微公司新取得专利授权50个，较去年同期减少了5.66%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

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  证券之星估值剖析提示中微公司盈余才能平平，未来营收成长性一般。归纳基本面各维度看，股价偏高。更多

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