8月15日，台积电供货商之一的极光先进激光股份有限公司产生总量6540克的钢瓶氟气外泄事情，因为氟气有毒，整个厂区马上分散300多人紧迫撤离并进行止阀冷却。

  消防局表明，进一步处理之后，气体走漏事情现已处理。在厂内走漏的气体侦测值已降为0，而且消防人员承认阀体、钢瓶无别的的走漏状况，公司员工也没有人员受困或伤亡的状况。至于钢瓶氟气走漏原因，仍在进一步查询。

  揭露材料显现，极光先进雷射股份有限公司(Gigaphoton Taiwan Inc) 是日本Gigaphoton为强化台湾技能据点之服务体系而建立。依据揭露材料，Gigaphoton在光刻机光源设备中占有高达50%的商场占有率，多年来一向向Nikon和ASML供货。Gigaphoton公司经营收入在2022财年为585亿日元，在DUV光源范畴，该公司与ASML旗下的美国公司Cymer平分商场。

  企业一般运用的都是激光预混气体，是氟气和氩气混合，并以氖气为平衡气。依据视频来看，该客户用的是三瓶气体现场混配运用，其间氟气产生了走漏。回来搜狐，检查更加多