5月27日音讯，开盘报61.04元，到15点，该股涨0.48%报60.32元。当时市值72.38亿。

  国内光刻气龙头；我国特种气体国产化的先行者；现在国内8寸以上集成电路制作商超越80%的客户覆盖率；Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne等4种混合气于17年经过全球最大的光刻机供货商ASML的产品认证，到现在是国内仅有经过ASML认证的气体公司，亦是全球仅有的上述4个产品悉数经过其认证的四家气体公司之一；高纯锗烷自19年末获得海力士的认证后，20年起已有订单供应海力士，且该产品已进入韩国三星的认证中。

  芯源微：光刻机龙头，5月27日音讯，芯源微主力资金净流入730.03万元，超大单资金净流出304.85万元，散户资金净流出582.65万元。

  5月27日芯源微3日内股价跌落1.77%，到15点收盘，该股报126.09元跌0.41%，成交1.35亿元，换手率2.35%。

  作为与光刻机协作进行作业的要害处理设备，公司出产的涂胶/显影机成功打破国外厂商独占并填补国内空白，其间在LED芯片制作及集成电路制作后道先进封装等环节，作为国内厂商干流机型已成功完成进口代替；经过多年的研制技能、实践使用堆集以及继续承当国家02严重专项，公司成功突破了使用于集成电路制作前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技能，成型产品现在正在长江存储、上海华力等前道芯片制作厂商进行工艺验证。

  大族激光：5月27日音讯，大族激光5日内股价跌落3.31%，该股最新报28.72元跌0.69%，成交5.1亿元，换手率1.79%。大族激光(002008.SZ)5月27日在出资者互动渠道表明，公司光刻机项目分辨率3-5μm，首要聚集在分立器材、LED等范畴的使用，已完成小批量出售。

  智光电气：截止收盘，智光电气报7.06元，跌1.53%，总市值55.62亿元。公司经过广州誉芯众诚股权出资合伙企业（有限合伙）（持股份额30%）直接参股广州粤芯半导体技能有限公司80%股权，是粤芯的操控股权的人，粤芯项目是誉芯众诚的首要出资项目。粤芯半导体一期以90nm-180nm技能产品为主，二期以65nm-90nm技能产品为主。公司于2019年5月在互动渠道泄漏，粤芯半导体收购的是荷兰ASML的光刻机，光刻机等首要设备已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房。

  永太科技：5月27日音讯，永太科技开盘报价26.98元，收盘于26.1元，跌2.14%。当日最高价27.46元，最低达25.95元，总市值228.78亿。到20年10月，公司光刻胶项目现在出产线已建成待商业化出产，公司正在活跃与下流客户商谈协作，该项目产能为1500吨/年CF光刻胶。。

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