(全球TMT2022年2月23日讯)最近国际形势突变也不可避免地要影响半导体行业,因为有一种关键原料面临断供,这就是氖气。市调机构Techcet发表研究报告说明,许多半导体制造商高度依赖俄罗斯、乌克兰供应的原物料,例如氖、钯等等。该机构估计,美国使用的半导体级氖有超过90%来自乌克兰,钯则有35%来自俄罗斯。
光刻气大部分为稀有气体及氟之间的混合气,在高压受激发后形成等离子体,在这样的一个过程中,由于电子跃迁,会产生固定波长的光线。激发出来的光线经过聚合,滤波等过程就会产生光刻机的光源。在半导体制程当中,氖气可用于KrF、ArF 镭射激光,在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中,氖气占激光气体混合物的96%以上。氪气同样用于光刻制程;氙气用于半导体刻蚀制程。根据芯智讯,乌克兰供应的氖气约占全球70%,并且供应全球约40%氪气,和30%的氙气。
对于此种形势,美光此前发布声明称,惰性气体(尤其是氖气)供应可能中断的报道令半导体行业感到担忧。不过美光表示,公司在惰性气体的采购上已多元化,公司氖气大多数来源于欧盟、美国和亚洲等各地供应商。此外,公司还保持了适当的惰性气体库存,并与主要供应商签订了多项长期供应协议。晶圆大厂联电也表示有多种来源,不会依赖单一供应商,能找到替代货源。中国特种气体市场资深分析师任路则表示,虽然氖、氪、氙为半导体行业生产所必需,但是其绝对使用量并不高,作为钢铁行业的副产品,全球市场体量不是很大。 “中国是全球钢铁大国,对这些稀有气体的纯化技术已实现了突破,生产的基本工艺也很成熟,不再是能够‘卡中国脖子’的技术了。”
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