德国的光学技能厂商蔡司今天宣告，斥资超越3亿元打造的首座台湾立异中心正式将于18日正式完工，第一阶段将引入电子、光学与3D X-ray显微镜的顶级半导体检测剖析解决方案，结合AI与独家相关技能，供给更准确的资料与缺点剖析，改进出产功率与良率。

  蔡司表明，此次是继上一年半导体的光罩解决方案部分在台湾建立亚洲物流中心及培训中心之后，再次展示公司对半导体工业的分外的注重及深耕台湾商场的决计。

  蔡司台湾首座立异中心首先引入多款高解析电子显微镜与光学显微镜，瞄准先进半导体商场从前段制作至后段封测的服务需求，蔡司团队可于第一线因应半导体厂先进制程所需，供给客制化解决方案与最即时的技能服务。

  ZEISS Crossbeam Laser 电子显微镜系列将高解析场发射扫描电子显微镜的成像剖析才能，与新一代聚集离子束的加工才能结合，并搭载飞秒激光于样品交流室 ，为现在业界创始于精细加工的一起能实时调查的显微镜，且大面积切开相较于传统 FIB 提高速度高达 6000 倍，大大下降检测本钱与时刻。

  ZEISS GeminiSEM 系列则可轻松出现纳米级其他高分辨率成像，透过立异电子光学系统和全新载台规划，使操作更简洁、灵敏，3 纳米以下制程的失效剖析也能轻松检测。

  别的，蔡司也整合自家 Advanced Reconstruction Toolbox 软件的 AI 运算功用，在大视界的拍照情境下，透过部分拍照练习人工智能运算模型，复原画面细节，以大视界、高解析的画面捕捉细小缺点，使失效剖析更臻准确。