【48812】中微公司取得实用新型专利授权:“等离子体束缚环、束缚组件及等离子体处理设备”

时间: 2024-06-08 22:51:47 |   作者: 欧宝下载最新版本苹果

  证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现中微公司(688012)新取得一项实用新型专利授权,专利名为“等离子体束缚环、束缚组件及等离子体处理设备”,专利申请号为CN7.7,授权日为2024年6月7日。

  专利摘要:本实用新型供给一种等离子体束缚环、一种等离子体束缚组件及等离子体处理设备。所述等离子体束缚环包含:层叠的上环和下环,所述上环设置有榜首排气通道,所述下环设置有第二排气通道,所述榜首排气通道与所述第二排气通道流体连通,所述上环选用硅或碳化的原料制成,所述下环选用铝合金原料制成。本实用新型用于处理等离子体束缚环上陶瓷涂层寿数缺乏,需求频频替换束缚环的问题。

  今年以来中微公司新取得专利授权69个,较去年同期增加了1.47%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研制方面投入了8.17亿元,同比增34.91%。

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