1. 准备工作：先将待清洗物放入等离子清洗室，并保证清洗室内没有杂物和尘垢。

  3. 抽气和抽真空：翻开真空泵，将清洗室内的气体抽走，构成必定的真空度。真空度的挑选依据清洗物的要求和等离子清洗机的标准来确认。

  4. 气体进入和等离子放电：在清洗室内引进清洗气体（如氧气、氮气等）并调整流量和压力。然后发动等离子发生器，发生等离子放电，构成气体等离子体。

  5. 清洗时刻和功率：依据清洗物的资料和污染程度，设定恰当的清洗时刻和功率。清洗时刻一般为几分钟到几十分钟，功率一般为几十瓦到几千瓦。

  6. 清洗完毕和处理：清洗时刻完毕后，封闭等离子发生器和抽真空泵。待等离子体消失后，翻开清洗室门，将清洗物取出。

  7. 清洗室整理和保护：整理清洗室内壁、电极和密封件，并查看设备的各种部件是否正常。

  需求留意的是，在进行等离子清洗时，应依据详细情况挑选正真合适的清洗参数，如气体品种、流量、压力、功率等，在操作的流程中要遵从设备运用说明书和安全操作标准，保证操作安全和整理洗刷作用。