上证报中国证券网讯7月16日微导纳米(688147)晚间公告，公司在“第十六届集成电路封测产业链创新发展论坛(CIPA2024)”上首次发布了自主研发的“先进封装低温薄膜应用解决方案”。该方案针对半导体领域2.5D和3D先进封装技术的低温工艺特殊需求而设计，能够在50°C~200°C的低温温度区间内实现高均匀性、高质量、高可靠性的薄膜沉积效果。方案包括iTronix LTP系列低温等离子体化学气相沉积系统、iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积系统、iTomic MeT系列金属及金属氮化物沉积系统等多款公司自主研发的低温薄膜沉积设备产品。其中，iTronix LTP系列低温等离子体化学气相沉积系统能够在低温下实现高质量的SiO2、SiN和SiCN薄膜沉积，适用于混合键合的介电层(ILD)、低k阻挡层和堆叠薄膜(BVR)；iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积系统可沉积高质量的SiO2和SiN薄膜，适用于高深宽比的TSV衬垫，能够在极高深宽比的通孔内形成均匀且致密的绝缘层，保证了器件性能的稳定；iTomic MeT系列金属及金属氮化物沉积系统可沉积高性能的TiN、TaN、Ru等金属性薄膜，适用于高深宽比TSV的铜阻挡层，能够有很大效果预防铜扩散，提高了TSV的可靠性。当前公司正积极推动上述产品的市场导入，构建产品先发优势。

  公告显示，公司在半导体领域已推出包括iTomic系列原子层沉积系统、iTomic MW系列批量式原子层沉积系统、iTomic PE系列等离子体增强原子层沉积系统、iTronix系列化学气相沉积系统等系列新产品，现有产品能够对逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示(硅基OLED)中的薄膜沉积应用实现较为全面的覆盖，公司目前产品已经覆盖HfO、Al O3、ZrO、TiO、La O3、ZnO、SiO、TiN、TiAl、TaN、AlN、SiN、SiON、SiCN、无定形碳、SiGe等多种薄膜材料。

  同时，公司瞄准国内外半导体先进的技术和工艺的发展趋势，持续丰富产品矩阵，为客户提供最先进的、集成化的真空技术工艺解决方案，打通国内先进半导体下一代技术迭代的需求。目前，2.5D和3D封装技术正以其高集成度和优越性能，成为推动电子器件微型化和性能提升的重要手段。公司新产品的发布体现了公司的科学技术创新能力，进一步丰富了公司的产品线。通过拓宽产品的应用场景，能大大降低单一行业周期性波动给公司带来的不利影响。(郑玲)

  2024A股中报预告全扫描：424家企业业绩预翻倍，安利股份问鼎“预增王”

  分析师：央行今日实施6760亿元逆回购巨额操作，流动性阶段性收紧、隔夜利率上行幅度偏大是直接原因

  已有141家主力机构披露2023-12-31报告期持股数据，持仓量总计4063.29万股，占流通A股49.35%

  近期的平均成本为23.22元。该股资金方面呈流出状态，投资者请谨慎投资。该公司运营状况尚可，多数机构觉得该股长期投资价值较高，投资的人可加强关注。

  限售解禁：解禁3.6亿股(预计值)，占总股本比例78.66%，股份类型：首发原股东限售股份。(本次数据根据公告推理而来，真实的情况以上市公司公告为准)

  限售解禁：解禁181.8万股(预计值)，占总股本比例0.40%，股份类型：首发战略配售股份。(本次数据根据公告推理而来，真实的情况以上市公司公告为准)

  限售解禁：解禁650.9万股(预计值)，占总股本比例1.42%，股份类型：首发原股东限售股份。(本次数据根据公告推理而来，真实的情况以上市公司公告为准)

  限售解禁：解禁379.7万股(预计值)，占总股本比例0.83%，股份类型：首发原股东限售股份。(本次数据根据公告推理而来，真实的情况以上市公司公告为准)

  投资者关系关于同花顺软件下载法律声明运营许可联系我们友情链接招聘英才使用者真实的体验计划

  不良信息举报电话举报邮箱：增值电信业务经营许可证：B2-20090237